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气冷罗茨真空泵
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罗茨真空机组选型注意事项

发布日期:2019-08-16 作者: 点击:

罗茨真空机组

1.罗茨真空机组的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。例如,真空涂层需要110-5mmHg的真空,所选真空泵的真空应至少为510-6mmHg。泵的真空通常选择为比真空设备的真空高一半数量级。

2.正确选择真空泵的工作点。每个泵都有一定的工作压力范围,如:扩散罗茨真空机组为10-3~10-7mmHg。在如此宽的压力范围内,泵的泵送速度随压力变化,其稳定的工作压力范围为510-4。 ?510-6mmHg。因此,泵的工作点应在此范围内选择,不应在10-8mmHg下长时间工作。另一个例子是钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压力应小于110-5mmHg。

3.在工作压力下,罗茨真空机组应能清除真空设备过程中产生的所有气体。

4.正确组合真空泵。由于真空泵具有选择性泵送,有时泵不能满足泵送要求,并且需要将多个泵组合以彼此互补以满足泵送要求。例如,钛升华泵对氢气具有高抽速,但不能泵送,并且三极溅射离子泵(或双极不对称阴极溅射离子泵)对氩气具有一定的抽速。组合时,真空装置将具有更好的真空。另外,有些真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;一些真空泵出口压力低于大气压力,需罗茨真空机组要前级泵,因此需要将泵组合在一起。


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